DEFECTS AND RECOMBINATION IN A-SI1-XCX-H FILMS

被引:38
作者
LIEDTKE, S
JAHN, K
FINGER, F
FUHS, W
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(87)90260-2
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
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页码:1083 / 1086
页数:4
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