MATERIAL AND DEVICE RESEARCH FOR VLSI IN JAPAN

被引：3

作者：

SUGANO, T

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570952

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：804 / 809

页数：6

共 16 条

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