SPUTTERING OF SURFACES BY POSITIVE ION BEAMS OF LOW ENERGY

被引:247
作者
HONIG, RE
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1723219
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:549 / 555
页数:7
相关论文
共 20 条