1-4 DEMAGNIFYING ELECTRON PROJECTION SYSTEM

被引：18

作者：

ASAI, T

ITO, S

ETO, T

MIGITAKA, M

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1980年 / 19卷

关键词：

D O I：

10.7567/JJAPS.19S1.47

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：47 / 50

页数：4

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共 4 条

[1] FROSIEN J, 1978 P C MICR ENG CA
[2] ELECTRON-PROJECTION MICROFABRICATION SYSTEM
HERITAGE, MB
[J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1975, 12 (06): : 1135 - 1145
[3] HERITAGE MB, 1976 P S EL ION BEAM, P348
[4] MEYER A, 1976 P S EL ION BEAM, P332