ETCH PITS IN GALLIUM ARSENIDE

被引：109

作者：

RICHARDS, JL

CROCKER, AJ

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1960年 / 31卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1735643

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

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页码：611 / 612

页数：2

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