INFLUENCE OF OXYGEN AND DEPOSITION CONDITIONS ON SPUTTERED A-SI

被引：13

作者：

SHIMIZU, T

KUMEDA, M

WATANABE, I

KAMONO, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(80)90611-0

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：303 / 308

页数：6

共 7 条

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