HEMISPHERICAL RETARDING TYPE ENERGY ANALYZER FOR IC TESTING BY ELECTRON-BEAM

被引：24

作者：

GOTO, Y

ITO, A

FURUKAWA, Y

INAGAKI, T

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571162

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1030 / 1032

页数：3

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共 4 条

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