MEASUREMENT OF DIFFUSION PROFILE OF ZN IN N-TYPE GAAS BY A SPREADING RESISTANCE TECHNIQUE

被引：9

作者：

FRANK, H

AZIM, SA

机构：

来源：

SOLID-STATE ELECTRONICS | 1967年 / 10卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1101(67)90101-3

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：727 / &

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共 2 条

[1] A SPREADING RESISTANCE TECHNIQUE FOR RESISTIVITY MEASUREMENTS ON SILICON [J].

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