GROWTH OF SILICA AND PHOSPHOSILICATE FILMS

被引：72

作者：

BALIGA, BJ ^{[1
]}

GHANDHI, SK ^{[1
]}

机构：

[1] RENSSELAER POLYTECH INST,ELECTROPHYS & ELECTR ENGN DIV,TROY,NY 12181

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1662384

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：990 / 994

页数：5

共 8 条

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