OPTIMIZATION OF AMMONIA-SENSITIVE METAL-OXIDE SEMICONDUCTOR STRUCTURES WITH PLATINUM GATES

被引:31
作者
SPETZ, A
ARMGARTH, M
LUNDSTROM, I
机构
来源
SENSORS AND ACTUATORS | 1987年 / 11卷 / 04期
关键词
D O I
10.1016/0250-6874(87)80075-6
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
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页码:349 / 365
页数:17
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