STUDY OF GROWTH-KINETICS AND DOPING OF SEMICONDUCTOR-FILMS BY THE METHOD OF COMPUTER-SIMULATION

被引：2

作者：

ALEKSANDROV, LN ^{[1
]}

KOGAN, AN ^{[1
]}

DYAKONOVA, VI ^{[1
]}

机构：

[1] NP OGAREV STATE UNIV,SARANSK,USSR

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1980年 / 61卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210610208

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：381 / 388

页数：8

共 15 条

[1]

ALEKSANDROV LN, 1979, PHYS STATUS SOLIDI A, V54, P463, DOI 10.1002/pssa.2210540204

ALEKSANDROV, LN ;

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DYAKONOVA, VI ;

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PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH, 1980, 58 (01) :237-243

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