ALIGNED MULTILAYER STRUCTURE GENERATION BY ELECTRON MICRO-PROJECTION

被引:12
作者
FROSIEN, J
LISCHKE, B
ANGER, K
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1979年 / 16卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.570304
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1827 / 1829
页数:3
相关论文
共 9 条
  • [1] ANGER K, UNPUBLISHED
  • [2] FRIEDRICH F, 1976, 7TH EL ION BEAM SCI, P340
  • [3] FROSIEN J, 1977, P INT C MICROLITHOGR, P175
  • [4] ELECTRON-PROJECTION MICROFABRICATION SYSTEM
    HERITAGE, MB
    [J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1975, 12 (06): : 1135 - 1145
  • [5] KOOPS H, 1968, OPTIK, V28, P518
  • [6] LISCHKE B, UNPUBLISHED
  • [7] LISCHKE B, 1978, 8TH P S EL ION BEAM, V78, P160
  • [8] MEYER A, 1976, 7TH P INT C EL ION B, P332
  • [9] POLITYCKI A, 1978, SIEMENS FORSCH ENTW, V7, P28