X-RAY MICROFLUORESCENCE ANALYZER FOR MULTILAYER METAL-FILMS

被引：5

作者：

CROSS, BJ

WHERRY, DC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(88)90387-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：263 / 272

页数：10

共 16 条

[1]

AUGENSTINE JE, 1987, 36TH DENV XRAY C DEN

[2]

BOEHME DR, 1987, SAND878214 SAND NAT

[3]

BUSH GT, 1983, PLAT SURF FINISH, V70, P80

[4]

CROSS BJ, 1988, PLAT SURF FINISH, V75, P68

[5]

HARMON JC, 1978, ADV XRAY ANAL, V22, P325

HUANG, TC .

[7]

Linder R., 1986, Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, V691, P28, DOI 10.1117/12.936617

[8]

MALDONADO JR, 1986, BELL SYST TECH J, V58, P1851

[9]

MEYER GA, 1987, ANAL CHEM, V59, pA1345

[10]

Nichols M. C., 1987, ADV XRAY ANAL, V30, P45