INFLUENCE OF DEPOSITION PARAMETERS ON STRAIN SENSITIVITY OF THIN GERMANIUM FILMS

被引：4

作者：

PLASSA, M

RUMIANO, G

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1972年 / 12卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(72)90397-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：75 / &

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