SEMI-INSULATING POLYCRYSTALLINE-SILICON (SIPOS) PASSIVATION TECHNOLOGY

被引:83
作者
MATSUSHITA, T
AOKI, T
OTSU, T
YAMOTO, H
HAYASHI, H
OKAYAMA, M
KAWANA, Y
机构
[1] SONY CORP,DIV SEMICOND DEV,ATSUGI 243,JAPAN
[2] SONY CORP,DIV SEMICOND,ATSUGI 243,JAPAN
关键词
D O I
10.7567/JJAPS.15S1.35
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页数:6
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