NONDESTRUCTIVE PHOTOVOLTAIC TECHNIQUE FOR MEASUREMENT OF RESISTIVITY GRADIENTS IN CIRCULAR SEMICONDUCTOR WAFERS

被引：11

作者：

BLACKBURN, DL

SCHAFFT, HA

SWARTZENDRUBER, LJ

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1972年 / 119卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2404098

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：1773 / +

页数：1

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共 13 条

[11]

VIEWEGGUTBERLET F, 1966, ARCH TECH MESS, P259

[12]

VIEWEGGUTBERLET F, 1966, ARCH TECH MESS, P237

[13]

1971, ANNUAL BOOK ASTM S 8