CALIBRATION AND USE OF AN ELECTRON MICROSCOPE FOR PRECISION MICROMEASUREMENTS IN THIN FILM MATERIALS

被引:15
作者
MURR, LE
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI | 1967年 / 19卷 / 01期
关键词
D O I
10.1002/pssb.19670190102
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
引用
收藏
页码:7 / &
相关论文
共 22 条