KINETIC ELLIPSOMETRY APPLIED TO SOFT-X-RAY MULTILAYER GROWTH-CONTROL

被引：19

作者：

HOUDY, P

机构：

来源：

REVUE DE PHYSIQUE APPLIQUEE | 1988年 / 23卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1051/rphysap:0198800230100165300

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1653 / 1659

页数：7

共 14 条

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