DISTRIBUTION AND APPARENT SOURCE GEOMETRY OF ELECTRON-BEAM-HEATED EVAPORATION SOURCES

被引：44

作者：

GRAPER, EB ^{[1
]}

机构：

[1] SLOAN TECHNOL CORP,SANTA BARBARA,CA 93103

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1317914

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：100 / 103

页数：4

共 6 条

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