FILM-THICKNESS DETERMINATION IN ELECTRON-MICROSCOPY - ELECTRON BACKSCATTERING METHOD

被引：31

作者：

NIEDRIG, H ^{[1
]}

机构：

[1] TECH UNIV BERLIN,INST OPT,D-1000 BERLIN 10,FED REP GER

来源：

OPTICA ACTA | 1977年 / 24卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1080/713819609

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：679 / 691

页数：13

共 66 条

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