DEVELOPMENT OF RELIEF STRUCTURES ON SI SURFACES BY ION-BOMBARDMENT

被引：10

作者：

PUNZEL, J ^{[1
]}

HAUFFE, W ^{[1
]}

机构：

[1] TECH UNIV DRESDEN,SEKT PHYS,DRESDEN,EAST GERMANY

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1972年 / 14卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210140241

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：K97 / &

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共 3 条

[1]

HAUFFE W, UNPUBLISHED

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