LOW-TEMPERATURE REDISTRIBUTION AND GETTERING OF OXYGEN IN SILICON

被引：13

作者：

MAGEE, TJ ^{[1
]}

LEUNG, C ^{[1
]}

KAWAYOSHI, H ^{[1
]}

FURMAN, B ^{[1
]}

HOPKINS, CG ^{[1
]}

EVANS, CA ^{[1
]}

机构：

[1] CHARLES EVANS & ASSOCIATES,SAN MATEO,CA 94402

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.329403

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5392 / 5394

页数：3

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共 6 条

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