FILM ADHESION STUDIES WITH THE ACOUSTIC MICROSCOPE

被引:31
作者
BRAY, RC
QUATE, CF
CALHOUN, J
KOCH, R
机构
[1] INTEL CORP, SANTA CLARA, CA 95051 USA
[2] STANFORD UNIV, CTR MAT RES, STANFORD, CA 94305 USA
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(80)90093-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:295 / 302
页数:8
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