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A LOW ENERGY ION GUN FOR BOMBARDING SMALL SPECIMENS
被引:4
作者
:
BOWDEN, P
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0
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0
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0
BOWDEN, P
BRANDON, DG
论文数:
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0
BRANDON, DG
机构
:
来源
:
JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
|
1963年
/ 40卷
/ 05期
关键词
:
D O I
:
10.1088/0950-7671/40/5/302
中图分类号
:
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
:
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要
:
引用
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页码:213 / &
相关论文
共 3 条
[1]
DESIGN AND PERFORMANCE OF A HOT CATHODE MAGNETICALLY COLLIMATED ARC DISCHARGE ION SOURCE
ABELE, M
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0
ABELE, M
MECKBACH, W
论文数:
0
引用数:
0
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0
MECKBACH, W
[J].
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,
1959,
30
(05)
: 335
-
338
[2]
SPUTTERING OF ALKALI ATOMS BY INERT GAS IONS OF LOW ENERGY
BRADLEY, RC
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
BRADLEY, RC
[J].
PHYSICAL REVIEW,
1954,
93
(04):
: 719
-
728
[3]
Brown S. C., 1959, BASIC DATA PLASMA PH
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共 3 条
[1]
DESIGN AND PERFORMANCE OF A HOT CATHODE MAGNETICALLY COLLIMATED ARC DISCHARGE ION SOURCE
ABELE, M
论文数:
0
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0
h-index:
0
ABELE, M
MECKBACH, W
论文数:
0
引用数:
0
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0
MECKBACH, W
[J].
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,
1959,
30
(05)
: 335
-
338
[2]
SPUTTERING OF ALKALI ATOMS BY INERT GAS IONS OF LOW ENERGY
BRADLEY, RC
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
BRADLEY, RC
[J].
PHYSICAL REVIEW,
1954,
93
(04):
: 719
-
728
[3]
Brown S. C., 1959, BASIC DATA PLASMA PH
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