DETERMINATION OF NONHOMOGENEOUS HIGH-CONCENTRATION DEPTH DISTRIBUTIONS USING ELASTIC BACKSCATTERING DATA

被引:4
作者
BRAUN, M
BREWER, R
STUESSI, H
VEPREK, S
机构
来源
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING | 1982年 / 28卷 / 01期
关键词
D O I
10.1007/BF00617779
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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