SPUTTERING AT LOW ION VELOCITIES

被引：16

作者：

WEHNER, G

MEDICUS, G

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1721719

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：698 / 702

页数：5

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共 4 条

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