THE USE OF CONTRAST ENHANCEMENT LAYERS TO IMPROVE THE EFFECTIVE CONTRAST OF POSITIVE PHOTORESIST

被引：16

作者：

OLDHAM, WG ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1987年 / 34卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1987.22914

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：247 / 251

页数：5

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共 5 条

[1]

BABU SV, 1986, IEEE ELECTRON DEVICE, V6, P252

[2]

Griffing B. F., 1983, ELECTRON DEVICE LETT, V4, P14

[3]

NEUREUTHER AR, 1984, MICROCIRCUIT ENG, P53

[4] SIMULATED PERFORMANCE OF A CONTRAST-ENHANCEMENT MATERIAL [J].

OTOOLE, MM .

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 1985, 6 (06) :282-284

[5]

WEST PR, 1983, P SOC PHOTO-OPT INST, V394, P33, DOI 10.1117/12.935119