PLASMA-ETCHING DURABILITY OF POLY(METHYL METHACRYLATE)

被引：46

作者：

HARADA, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/app.1981.070260620

中图分类号：

O63 [高分子化学（高聚物）];

学科分类号：

070305 ; 080501 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：1961 / 1973

页数：13

共 21 条

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