SELECTIVE MOLYBDENUM DEPOSITION BY LPCVD

被引：23

作者：

LIFSHITZ, N

WILLIAMS, DS

CAPIO, CD

BROWN, JM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2100820

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：2061 / 2067

页数：7

共 15 条

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