UBER DEN AUFBAU UND DIE STRUKTUR AUFGEDAMPFTER SILICIUMSCHICHTEN UND IHR VERHALTEN BEI HOHEN TEMPERATUREN

被引:7
作者
HASS, G
机构
来源
ZEITSCHRIFT FUR ANORGANISCHE CHEMIE | 1948年 / 257卷 / 04期
关键词
D O I
10.1002/zaac.19482570402
中图分类号
O61 [无机化学];
学科分类号
070301 ; 081704 ;
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页码:166 / 172
页数:7
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