THE EFFECT OF THE DEPOSITION RATE ON THE ELECTRICAL-RESISTIVITY OF THIN TIN FILMS

被引：22

作者：

ANGADI, MA

UDACHAN, LA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(89)90597-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：299 / 302

页数：4

共 9 条

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