SILICON RIBBON GROWTH VIA RIBBON-TO-RIBBON (RTR) TECHNIQUE - PROCESS UPDATE AND MATERIAL CHARACTERIZATION

被引:23
作者
GURTLER, RW
BAGHDADI, A
ELLIS, RJ
LESK, IA
机构
关键词
D O I
10.1007/BF02655648
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:441 / 477
页数:37
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