ELECTRONIC-PROPERTIES OF HIGHLY-DOPED SI(111)-(1X1) SURFACES PREPARED BY LASER ANNEALING

被引:4
作者
EASTMAN, DE [1 ]
HEIMANN, P [1 ]
HIMPSEL, FJ [1 ]
REIHL, B [1 ]
ZEHNER, DM [1 ]
WHITE, CW [1 ]
机构
[1] OAK RIDGE NATL LAB,OAK RIDGE,TN 37830
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.571061
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:347 / 348
页数:2
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