SELF-ALIGNED MASKLESS CHAN STOPS FOR IGFET INTEGRATED-CIRCUITS

被引：3

作者：

MOLINE, RA ^{[1
]}

REUTLINGER, GW ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC, MURRAY HILL, NJ 07974 USA

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1973年 / ED20卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1973.17805

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：1129 / 1132

页数：4

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共 6 条

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