ELLIPSOMETRIC MEASUREMENTS OF BARRIER LAYER IN COMPOSITE ALUMINUM-OXIDE FILMS

被引:27
作者
DYER, CK
ALWITT, RS
机构
关键词
D O I
10.1016/0013-4686(78)80073-5
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页数:8
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