MICROPATTERNING OF SURFACES BY EXCIMER LASER PROJECTION

被引:40
作者
BRANNON, JH
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.584595
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:1064 / 1071
页数:8
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