MECHANICAL BOOSTERS ON CLEAN OR CORROSIVE APPLICATIONS

被引：11

作者：

DENNIS, NTM

BUDGEN, LJ

LAURENSON, L

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570879

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1030 / 1032

页数：3

共 6 条

BAKER, MA .

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1968, 1 (07) :774-&

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