EPITAXIAL GROWTH OF SILICON

被引：26

作者：

WAJDA, ES

KIPPENHAN, BW

WHITE, WH

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1147/rd.43.0288

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：288 / 295

页数：8

共 4 条

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