CONTRIBUTION TO ETCH POLISHING OF GAAS

被引：15

作者：

HARTNAGEL, H ^{[1
]}

WEISS, BL ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV NEWCASTLE TYNE, DEPT ELECT & ELECTR ENGN, NEWCASTLE UPON TYNE, ENGLAND

来源：

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE | 1973年 / 8卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00756642

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：1061 / 1063

页数：3

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共 3 条

[1]

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