SPECULATIONS ON A MECHANISM FOR THE ION-BEAM INDUCED DEGRADATION OF POLYIMIDE

被引:25
作者
DAVENAS, J
BOITEUX, G
FALLAVIER, M
机构
[1] UNIV LYON 1,CNRS,UA 507,ETUD MAT PLAST & BIOMAT LAB,F-69622 VILLEURBANNE,FRANCE
[2] UNIV LYON 1,CNRS,INST NATL PHYS NUCL & PHYS PARTICULES,INST PHYS NUCL LYON,F-69622 VILLEURBANNE,FRANCE
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(89)90899-9
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页码:796 / 799
页数:4
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