REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING OF ZNO

被引：57

作者：

KHURIYAKUB, BT ^{[1
]}

SMITS, JG ^{[1
]}

BARBEE, T ^{[1
]}

机构：

[1] STANFORD UNIV,CTR MAT RES,STANFORD,CA 94305

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.329315

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：4772 / 4774

页数：3

共 7 条

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