PLASMA DISCHARGE CLEANING OF REPLICA GRATINGS CONTAMINATED BY SYNCHROTRON RADIATION

被引：25

作者：

MCKINNEY, WR ^{[1
]}

TAKACS, PZ ^{[1
]}

机构：

[1] BROOKHAVEN NATL LAB,DIV INSTRUMENTAT,UPTON,NY 11973

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1982年 / 195卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(82)90802-3

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：371 / 374

页数：4