A HIGH CURRENT VACUUM DISCHARGE FOR TRIODE-SPUTTERING IN 10-4 TORR RANGE

被引：10

作者：

GAYDOU, FP

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(67)92178-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：325 / &

共 8 条

[1]

GAWEHN H, 1962, Z ANGEW PHYSIK, V14, P458

GILL, WD ;

KAY, E .

[3]

IWANOW PD, 1961, IZVESTIJA F, V25, P1524

[4]

KOEDAM M, 1961, PHILIPS RES REP, V16, P101

[5]

NICKERSON JW, 1965, VIDE, V120, P437

[6]

Penning FM, 1940, P K NED AKAD WETENSC, V43, P41

[7]

PLESHIVTSEV NV, 1964, INSTRUMS EXPL TECH P, V5, P929

[8]

1964, MEMOIRES SCIENTIFIQU, V61, P329