CHEMICAL-MECHANICAL PLANARIZATION OF ALUMINUM-BASED ALLOYS FOR MULTILEVEL METALLIZATION

被引：2

作者：

FURY, MA

SCHERBER, DL

STELL, MA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1557/S0883769400045607

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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页数：4

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共 16 条

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