基于CCD的ICP-AES光谱仪光谱采集方案的设计与研究

近年来,由于ICP-AES 光谱仪器不断向小型化、固态化、模块化和快速实时方向发展,所以设计和开发ICP-AES 全谱仪器已经成为现代分析仪器中的研制热点。 SPS8000 电感耦合等离子体顺序扫描发射光谱仪是北京海光仪器公司（北京地质仪器研究所）在1994 年开发研制成功并批量生产的国内首台单道扫描型ICP 发射光谱仪,由于SPS8000 电感耦合等离子体顺序扫描发射光谱仪是应用光电倍增管实现光谱采集的,存在很多弊端和缺点。本文设计了以CCD 器件代替光电倍增管作为光电检测器的光谱采集系统,完成了对波长范围在175nm800nm 的光谱信号的接收、转换和数据分析处理。 然后,对设计的光谱采集系统的主要指标进行测试,给出了测试结果,根据测试的数据,表明本光谱采集系统较好的反映了光谱谱线的光强分布和空间分布,可以应用于SPS8000 电感耦合等离子体顺序扫描发射光谱仪的光谱采集。