光刻投影物镜波像差检测系统及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110148554.2

申请日：

2011-06-03

公开(公告)号：

CN102200697A

公开(公告)日：

2011-09-28

发明(设计)人：

闫观勇王向朝彭勃徐东波段立峰

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01M1102

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-26	授权	授权
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101137311979 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011101485542 申请日:20110603
2011-09-28	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻投影物镜高阶波像差检测标记和检测方法 [P].

诸波尔 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

闫观勇 ;

沈丽娜 ;

张恒 ;

孟泽江 .

中国专利 :CN105629677A ,2016-06-01

[2]

基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法 [P].

彭勃 ;

王向朝 ;

杨济硕 ;

闫观勇 ;

徐东波 .

中国专利 :CN102236268A ,2011-11-09

[3]

光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面的检测方法 [P].

李思坤 ;

王向朝 ;

杨济硕 ;

闫冠勇 ;

李兆泽 .

中国专利 :CN103744269A ,2014-04-23

[4]

基于空间像主成分分析的极紫外光刻投影物镜波像差检测方法 [P].

雷威 ;

李思坤 ;

王向朝 .

中国专利 :CN115219155B ,2025-05-13

[5]

光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法 [P].

闫观勇 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

沈丽娜 ;

刘晓雷 .

中国专利 :CN103955117B ,2014-07-30

[6]

光刻机投影物镜大像差检测方法 [P].

段立峰 ;

王向朝 ;

徐东波 .

中国专利 :CN102621819B ,2012-08-01

[7]

光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN102269937B ,2011-12-07

[8]

投影物镜波像差检测装置及检测方法 [P].

唐锋 ;

彭常哲 ;

王向朝 ;

卢云君 ;

李鹏 .

中国专利 :CN110441992A ,2019-11-12

[9]

投影物镜波像差检测装置及方法、光刻机 [P].

马明英 ;

姜雪林 ;

夏建培 .

中国专利 :CN111352303A ,2020-06-30

[10]

光刻机投影物镜波像差在线检测方法 [P].

李艳秋 ;

刘克 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN101236362A ,2008-08-06

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