投影物镜波像差检测装置及方法、光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811573750.2

申请日：

2018-12-21

公开(公告)号：

CN111352303A

公开(公告)日：

2020-06-30

发明(设计)人：

马明英姜雪林夏建培

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-30	公开	公开
2021-06-18	授权	授权
2020-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20181221

共 50 条

[1]

光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN102269937B ,2011-12-07

[2]

光刻机投影物镜波像差测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 ;

马明英 .

中国专利 :CN101464637A ,2009-06-24

[3]

光刻机投影物镜波像差在线检测方法 [P].

李艳秋 ;

刘克 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN101236362A ,2008-08-06

[4]

光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法 [P].

闫观勇 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

沈丽娜 ;

刘晓雷 .

中国专利 :CN103955117B ,2014-07-30

[5]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

涂远莹 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN103197512B ,2013-07-10

[6]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

沈丽娜 ;

王向朝 ;

李思坤 ;

闫观勇 ;

诸波尔 ;

张恒 ;

孟泽江 .

中国专利 :CN105319869B ,2016-02-10

[7]

光刻机投影物镜大像差检测方法 [P].

段立峰 ;

王向朝 ;

徐东波 .

中国专利 :CN102621819B ,2012-08-01

[8]

一种光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN101840164B ,2010-09-22

[9]

自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法 [P].

闫观勇 ;

王向朝 ;

杨济硕 ;

徐东波 ;

段立峰 .

中国专利 :CN102314095B ,2012-01-11

[10]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203133473U ,2013-08-14

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