自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110260843.1

申请日：

2011-09-05

公开(公告)号：

CN102314095B

公开(公告)日：

2012-01-11

发明(设计)人：

闫观勇王向朝杨济硕徐东波段立峰

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01M1102

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101194115685 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011102608431 申请日:20110905
2012-01-11	公开	公开
2013-05-08	授权	授权

共 50 条

[1]

投影物镜波像差检测装置及方法、光刻机 [P].

马明英 ;

姜雪林 ;

夏建培 .

中国专利 :CN111352303A ,2020-06-30

[2]

光刻机投影物镜波像差在线检测方法 [P].

李艳秋 ;

刘克 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN101236362A ,2008-08-06

[3]

光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法 [P].

闫观勇 ;

李思坤 ;

王向朝 ;

沈丽娜 ;

刘晓雷 .

中国专利 :CN103955117B ,2014-07-30

[4]

光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN102269937B ,2011-12-07

[5]

光刻投影物镜波像差检测系统及检测方法 [P].

闫观勇 ;

王向朝 ;

彭勃 ;

徐东波 ;

段立峰 .

中国专利 :CN102200697A ,2011-09-28

[6]

光刻机投影物镜大像差检测方法 [P].

段立峰 ;

王向朝 ;

徐东波 .

中国专利 :CN102621819B ,2012-08-01

[7]

光刻机投影物镜奇像差原位检测方法 [P].

马明英 ;

王向朝 .

中国专利 :CN100428058C ,2005-12-21

[8]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

涂远莹 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN103197512B ,2013-07-10

[9]

光刻机投影物镜波像差测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 ;

马明英 .

中国专利 :CN101464637A ,2009-06-24

[10]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

沈丽娜 ;

王向朝 ;

李思坤 ;

闫观勇 ;

诸波尔 ;

张恒 ;

孟泽江 .

中国专利 :CN105319869B ,2016-02-10

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