一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320047881.3

申请日：

2013-01-29

公开(公告)号：

CN203133473U

公开(公告)日：

2013-08-14

发明(设计)人：

刘广义齐月静张清洋周翊王宇

申请人：

申请人地址：

100094 北京市海淀区邓庄南路9号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01M1102

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

宋焰琴

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20200914 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更后权利人:中国科学院微电子研究所变更事项:地址变更前权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号变更后权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号
2023-01-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20130129 授权公告日:20130814 终止日期:20220129
2020-10-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20200914 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院光电研究院变更后权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更事项:地址变更前权利人:100094 北京市海淀区北京市海淀区邓庄南路9号变更后权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号
2013-08-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN103048894A ,2013-04-17

[2]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 .

中国专利 :CN101344728B ,2009-01-14

[3]

一种光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN101840164B ,2010-09-22

[4]

光刻机投影物镜波像差测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 ;

马明英 .

中国专利 :CN101464637A ,2009-06-24

[5]

一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置 [P].

刘克 ;

李艳秋 ;

刘丽辉 ;

汪海 .

中国专利 :CN101609266A ,2009-12-23

[6]

光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN102269937B ,2011-12-07

[7]

光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置 [P].

苏佳妮 ;

卢增雄 ;

齐月静 ;

杨光华 ;

王宇 .

中国专利 :CN208076920U ,2018-11-09

[8]

光刻机投影物镜波像差在线检测方法 [P].

李艳秋 ;

刘克 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN101236362A ,2008-08-06

[9]

一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法 [P].

袁琼雁 ;

李亮 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN102129173B ,2011-07-20

[10]

投影物镜波像差检测装置及方法、光刻机 [P].

马明英 ;

姜雪林 ;

夏建培 .

中国专利 :CN111352303A ,2020-06-30

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