一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910089426.8

申请日：

2009-07-20

公开(公告)号：

CN101609266A

公开(公告)日：

2009-12-23

发明(设计)人：

刘克李艳秋刘丽辉汪海

申请人：

申请人地址：

100081北京市海淀区中关村南大街5号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01M1102

代理机构：

北京理工大学专利中心

代理人：

张利萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-02-17	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-11-10	授权	授权
2009-12-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203133473U ,2013-08-14

[2]

一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法 [P].

袁琼雁 ;

李亮 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN102129173B ,2011-07-20

[3]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法 [P].

刘广义 ;

齐月静 ;

张清洋 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN103048894A ,2013-04-17

[4]

光刻机投影物镜波像差测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 ;

马明英 .

中国专利 :CN101464637A ,2009-06-24

[5]

用扩展光源的光刻机投影物镜波像差现场测量装置及方法 [P].

刘克 ;

李艳秋 ;

汪海 ;

王建峰 .

中国专利 :CN102193338A ,2011-09-21

[6]

一种光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN101840164B ,2010-09-22

[7]

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法 [P].

李术新 ;

王帆 .

中国专利 :CN101344728B ,2009-01-14

[8]

一种光刻投影物镜系统波像差测量装置 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

丁功明 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203882092U ,2014-10-15

[9]

一种光刻机投影物镜波像差的测量方法 [P].

刘世元 ;

许爽 ;

龚朋 ;

周新江 ;

吕稳 .

中国专利 :CN103616802A ,2014-03-05

[10]

光刻机投影物镜波像差在线检测方法 [P].

李艳秋 ;

刘克 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN101236362A ,2008-08-06

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